待测电流 mams扭转微镜 输入光 输出光纤 Rogow sk线圈 电磁屏蔽 双光纤准直器 图4.3-4为一种采用mems的光学电流传感器(OCS)。它由Rogowski线圈、双端 固支式mems扭转微镜和双光纤准直器构成，其中Rogowski线圈由金属导线缠绕 在环形非磁性芯棒上形成，并与长直输电导线形成穿心结构；mems扭转微镜置 于永磁铁形成的磁场中，正面的驱动线圈通过位于绝缘层下的连接线和 Rogowski线圈串联成回路，背面的反射镜面与双光纤准直器相对且初始偏角为 零度，mems扭转微镜与双光纤准直器封装在一起并加以电磁屏蔽。 2022/10/7 92022/10/7 9 图4.3-4为一种采用mems的光学电流传感器（OCS）。它由Rogowski线圈、双端 固支式mems扭转微镜和双光纤准直器构成，其中Rogowski线圈由金属导线缠绕 在环形非磁性芯棒上形成，并与长直输电导线形成穿心结构；mems扭转微镜置 于永磁铁形成的磁场中，正面的驱动线圈通过位于绝缘层下的连接线和 Rogowski线圈串联成回路，背面的反射镜面与双光纤准直器相对且初始偏角为 零度，mems扭转微镜与双光纤准直器封装在一起并加以电磁屏蔽