扫描隧道显微镜的原理结构 极细探针与研究物质作为两个探极 针尖坚动机构 电子学系统 支 架 样品 计算机 减震系统 图3sTM的基本构成扫描隧道显微镜的原理结构 • 极细探针与研究物质作为两个探极