各种其他的物理气相沉积方法 还有一些不能简单划归蒸发、溅射法的PVD方 法,它们针对特定的应用目的,或是将不同的 手段结合在一起,或是对上述的某一种方法进 行了较大程度的改进,如 ◆离子镀 ◆反应蒸发沉积 离子束辅助沉积 离化团束沉积◼ 还有一些不能简单划归蒸发、溅射法的PVD方 法，它们针对特定的应用目的，或是将不同的 手段结合在一起，或是对上述的某一种方法进 行了较大程度的改进，如 各种其他的物理气相沉积方法 ◆ 离子镀 ◆ 反应蒸发沉积 ◆ 离子束辅助沉积 ◆ 离化团束沉积 ……