离子镀技术的发展历史 1938年, Berghaus申请了离子镀的第一份专利 1963年, Mattox发明了二极离子镀 1972年, Bunshah发展了活性反应离子镀 1972年, Morley发明了空心阴极电弧离子镀 1973年,村山洋一发明了射频放电离子镀 20世纪80年代初,国内外相继开发了真空阴极 电弧离子镀、多弧离子镀 ◆如今离子镀技术已发展成为在工业中广泛应用 的一种重要的镀膜技术离子镀技术的发展历史 ◆ 1938年，Berghau 申请了离子镀的第一份专利 ◆ 1963年，Mattox 发明了二极离子镀 ◆ 1972年，Bunshah发展了活性反应离子镀 ◆ 1972年，Morley发明了空心阴极电弧离子镀 ◆ 1973年，村山洋一发明了射频放电离子镀 ◆ 20世纪80年代初，国内外相继开发了真空阴极 电弧离子镀、 多弧离子镀 ◆ 如今离子镀技术已发展成为在工业中广泛应用 的一种重要的镀膜技术