323区熔法 通入惰性气体 主要用来生长 低氧含量的晶体, 惰性气体 (氩气) 但不能生长大直 上卡盘 径的单晶,并且 晶体有较高的位 多晶硅棒 错密度。这种工 滑动射 艺生长的单晶主 频线圈 熔融区 要使用在高功率 的晶闸管和整流 器上,生长系统 籽晶 E 下卡盘 如图所示 行进 方向3.2.3 区熔法 主要用来生长 低氧含量的晶体， 但不能生长大直 径的单晶，并且 晶体有较高的位 错密度。这种工 艺生长的单晶主 要使用在高功率 的晶闸管和整流 器上，生长系统 如图所示。 通入惰性气体 惰性气体 （氩气） 上卡盘 多晶硅棒 下卡盘 熔融区 籽晶 滑动射 频线圈 行进 方向