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322液体掩盖直拉法 此方法主要用来 生长砷化镓晶体, 籽晶 和标准的直拉法 样,只是做了一些 改进。由于熔融物 里砷的挥发性通常 晶体 采用一层氧化硼漂 浮在熔融物上来抑F≌ 氧化硼层 制砷的挥发。故得 砷化镓 其名,如图所示。 熔化物3.2.2 液体掩盖直拉法 此方法主要用来 生长砷化镓晶体, 和标准的直拉法一 样,只是做了一些 改进。由于熔融物 里砷的挥发性通常 采用一层氧化硼漂 浮在熔融物上来抑 制砷的挥发。故得 其名,如图所示。 籽晶 晶体 砷化镓 熔化物 氧化硼层
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