薄膜生长的三种模式 ■层状岛状( Stranski-Krastanov)生长模式:在最 开始的一两个原子层的层状生长之后,生长模 式从层状转为岛状模式 这种模式转变的机制较复杂,但其本质是薄膜 生长过程中各种能量的相互消长,比如 外延时晶格常数并不匹配,应变能逐渐积累;随后 发生应变能的松弛 在表面能较高的晶面发生层状外延后,为降低表面 能,转变为低能面的生长 在S止上生长GaAs时,S所需要的三个键合电子被AS 的五个外层电子所满足,且剩余一对电子,使表面 不再倾向于接受其他原子,即吸附了As原子的 Si(11)表面已被钝化◼ 层状-岛状(Stranski-Krastanov)生长模式：在最 开始的一两个原子层的层状生长之后，生长模 式从层状转为岛状模式 这种模式转变的机制较复杂，但其本质是薄膜 生长过程中各种能量的相互消长,比如 薄膜生长的三种模式 ◆ 外延时晶格常数并不匹配，应变能逐渐积累；随后 发生应变能的松弛 ◆ 在表面能较高的晶面发生层状外延后，为降低表面 能，转变为低能面的生长 ◆ 在Si上生长GaAs时，Si所需要的三个键合电子被As 的五个外层电子所满足，且剩余一对电子，使表面 不再倾向于接受其他原子，即吸附了As原子的 Si(111)表面已被钝化