薄膜的形核 薄膜沉积的初期,要经历非自发形核阶段 非自发形核要有两个条件: 形核表面 相变自由能△Gv 其中以和,凝结相的平衡蒸气压和实际压力,J和是凝结 相的蒸发通量和沉积通量,Ω是原子体积,上式还可写成 其中,S是气相的过饱和度。当气相存在过饱和现象时, ΔG√<0,它就是新相形核的驱动力◼ 薄膜沉积的初期，要经历非自发形核阶段 ◼ 非自发形核要有两个条件: 形核表面 相变自由能GV 薄膜的形核 J k T J p k T p G V ln ln V V  =   = 其中pv和p是凝结相的平衡蒸气压和实际压力，Jv和J是凝结 相的蒸发通量和沉积通量，是原子体积,上式还可写成 其中，S是气相的过饱和度。当气相存在过饱和现象时， GV<0，它就是新相形核的驱动力   G kT V = − ln(1+S)