4.1分析电子显微镜特点 分析电子显微镜具有如下特点： (1)具有传统TEM特点：选区电子衍射、衍衬成像、高分辨结构 像； (2)纳米衍射和会聚束衍射， 获得纳米尺度区域的三维晶体学信息； (3)采用X射线能谱仪或电子能量损失谱仪可对纳米尺度的微区进 行元素的定性和定量分析； (4)若配有扫描电子显微镜功能，可使电子束对样品逐点扫描，可 观察扫描透射像，二次电子像、背散射电子像，采用X射线能谱仪或电 子能量损失谱仪可获元素的线分布和面分布图： (5)对真空度要求高，尤其用场发射电子枪(FEG)。4.1分析电子显微镜特点 分析电子显微镜具有如下特点： （1）具有传统TEM特点：选区电子衍射、衍衬成像、高分辨结构 像； （2）纳米衍射和会聚束衍射，获得纳米尺度区域的三维晶体学信息； （3）采用X射线能谱仪或电子能量损失谱仪可对纳米尺度的微区进 行元素的定性和定量分析； （4）若配有扫描电子显微镜功能，可使电子束对样品逐点扫描，可 观察扫描透射像，二次电子像、背散射电子像，采用X射线能谱仪或电 子能量损失谱仪可获元素的线分布和面分布图； （5）对真空度要求高，尤其用场发射电子枪(FEG)