R14采用T型连结，目的是提升电路阻抗和电路系统放大倍数。U6(AD797) 运算放大器是将C11、R16组成的高通滤波器去除低频干扰后的电压信号经适 当放大，为下一步同步解调作好准备：U3(AD797)运算放大器组成的移相电路， 其作用是使调制信号和解调信号同步：U5同步解调器，采用ADI公司生产的平 衡解调器AD630,经U5同步解调出的电压信号就是反应振动加速度大小的信 号；U9(OP137)运算放大器组成二阶有源低通滤波器，滤除信号中高频噪音成 份；U10(OP177)运算放大器组成跟随器，信号经调整后跟随输出。 U7(OP137)运算放大器组成反馈AGC回路，将振动加速度信号的输出信 号反馈回源极，使动极板产生和加速度方向相反的静电力，目的是增加加速度计 的灵敏度和带宽。该套加速度计的分辨率为218。 激励信号采用正弦交流信号而不用方波信号，是因为方波信号为离散信号没 有连续性，解调时易产生尖峰脉冲杂波，杂波不易滤除，并且贯穿整个电路，影 响测量分辨率。 参考文献： 1.刘学涛，微机械贯性传感器检测平台的设计与应用，电子应用技术，2002,10 2.陈蜀勇，基于PLL的信号发生器的实现，微计算机信息，2004,11 3.吴道悌，非电量电检测技术'，西安交通大学出版社 MEMS简介 MEMS(Micro Electromechanical System,即微电子机械系统)是指集微 型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微 型机电系统。概括起来，MEMS具有以下几个基本特点，微型化、智能化、多功 能、高集成度和适于大批量生产。 MEMS技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新 功能的元件和系统。MEMS技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，几 乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子技术、机械技术、物理学、化学、R14 采用 T 型连结，目的是提升电路阻抗和电路系统放大倍数。U6(AD797) 运算放大器是 将 C11、R16 组成的高通滤波器去除低频干扰后的电压信号经适 当放大，为下一步同步解调作好准备；U3(AD797)运算放大器组成的移相电路， 其作用是使调制信号和解调信号同步；U5 同步解调器，采用 ADI 公司生产的平 衡解调器 AD630，经 U5 同步解调出的电压信号就是反应振动加速度大小的信 号；U9(OP137)运算放大器组成二阶有源低通滤波器，滤除信号中高频噪音成 份；U10(OP177)运算放大器组成 跟随器，信号经调整后跟随输出。 U7(OP137)运算放大器组成反馈 AGC 回路，将振动加速度信号的输出信 号反馈回源极，使动极板产生和加速度方向相反的静电力，目的是增加加速度计 的灵敏度和带宽。该套加速度计的分辨率为 2 -18。 激励信号采用正弦交流信号而不用方波信号，是因为方波信号为离散信号没 有连续性，解调时易产生尖峰脉冲杂波，杂波不易滤除，并且贯穿整个电路，影 响测量分辨率。 参考文献： 1. 刘学涛，微机械贯性传感器检测平台的设计与应用，电子应用技术，2002,10 2. 陈蜀勇，基于 PLL 的信号发生器的实现，微计算机信息，2004，11 3. 吴道悌，‘非电量电检测技术’，西安交通大学出版社 MEMS 简介 MEMS(Micro Electromechanical System，即微电子机械系统)是指集微 型传感器、执行器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的微 型机电系统。概括起来，MEMS 具有以下几个基本特点，微型化、智能化、多功 能、高集成度和适于大批量生产。 MEMS 技术的目标是通过系统的微型化、集成化来探索具有新原理、新 功能的元件和系统。MEMS 技术是一种典型的多学科交叉的前沿性研究领域，几 乎涉及到自然及工程科学的所有领域，如电子技术、机械技术、物理学、化学