日景 8.3.7氮和保的相互作用 521 8A硅中的氢…,…,,, 84.1硅中氢的基本性质…………………… 8.4.2硅中氢的测量…,…m…m… 8.4.3区硅单品中的氢…… 8.4.4氯和氧的相互作用… 8..5氢和傲缺陷及其他杂质的相互作用 3.5硅中的过護金漏 8.5.1台闻杂质对材料和器件性能的影响 8.5.2硅中金画的污途径和挖制 8.5.3盒圆杂质的测量 85.4含圆杂质的基本性质… 8..5硅中金复合体与沉淀 8.5.6金吸杂 538 参考文……………………… 判录非平衡态热力学的基知识