哇材料科学与技木 7.2,1位 7.3T艺诱生缺陷“… 3.1热吃力诱生的滑移位移 3.2扩散诱生位 3.3氣化诱生垛层错 7.3.4表百缺陷 3.5氧沉綻及其他体缺阶 7.4缺陷工程 2非本让吸杂 7.3本饪鬟杂 7.4.!非本征吸杂对本征吸杂的影响……………… 1.5透射电子副泼镜技术在守中妹究斤酊的应用……… 51电昱镜的荔本知识 75.2关于硅片热处理后产生的层错的透封电镜研究 低5mm2m 5.3关十品体中潋谒缺的本质的透射电镜阴究……………,… 75.4原生CZ品体中的红外散射缺陷”研究 55微砝单品中的氧沉淀形态 75.6高空(VD极低温低压外廷与高分频TEM分析研究……………m…83 参考文棘……… 第八章硅中的杂质 81中的 81.母中氢的基本竹质 8.1.2中宝的测量… 8.1.3施主……… 8L.4氧沉淀… 81.5内吸杂 8.2中约碳 8.2.中袋的幕本性质 8.2.2中碳的测量 4 508 8.2.3中表和的作用… 8.2中装和微法陷及其来质的相生作川………………310 8.3硅中的氮……… 8.3.中的基本性质…………… 8.3.2中的测性…………………… 8.3.3砝中氮的掺杂 8.3.氮对驻材料性能的影响……………… 8.3,氮的热理性赁 8.3.6氮和的相互作用