考核指标：岩矿石样本电性测量：频带范围0.01Hz~10kHz, 输入阻抗≥100MQ,发射电流分辨率1nA,测量电压分辨率 0.5μV,岩矿石样本电阻率、极化率和幅相频参数测量精度≤ 10%;超音频电磁测量：频带范围10Hz~500kH2,发射电流≥1A (100kHz,通道动态范围≥120dB,视电阻率测量精度≤3%： 超低频电磁测量：工作频带10Hz~300Hz,长期漂移≤ 100μV1000h,温度漂移≤0.02μV℃，视电阻率测量精度≤5%. 项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试，平均故障间隔时 问≥3000小时，技术就绪度达到8级：至少应用于2个领域或 行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量，具有 自主知识产权；形成批量生产能力，经用户试用，满足用户使用 要求。 1.14形貌动态显微成像仪 研究内容：针对微纳传感器、微机电系统、集成电路等三维 形貌和振动特性测量需求，突破飞米量级面外振动测量、纳米量 级面内测振和纳米量级形貌测量等关键技术，开发具有自主知识 产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的形貌动态显微成像仪， 开发相关软件和数据库，开展工程化开发、应用示范和产业化推 广，实现微纳加工与先进制造、微电子等领城的应用。 考核指标：面外振动测量频率范围0~25MHz,速度范围 0-10m/s,面外位移分辨率≤50fim/Hz2;面内振动测量频率范围 0-2.5MHz,速度范围0-10m/s,面内位移分辨率≤5nm;形统垂 -526首都医科大学 A00089 — 526 — 考核指标：岩矿石样本电性测量：频带范围 0.01Hz ~10kHz， 输入阻抗≥100MΩ，发射电流分辨率 1nA，测量电压分辨率 0.5μV，岩矿石样本电阻率、极化率和幅相频参数测量精度≤ 10%；超音频电磁测量：频带范围 10Hz~500kHz，发射电流≥1A （100kHz），通道动态范围≥120dB，视电阻率测量精度≤3%； 超 低 频 电 磁 测 量 ： 工 作 频 带 10-5Hz~300Hz ， 长 期 漂 移 ≤ 100μV/1000h，温度漂移≤0.02μV/℃，视电阻率测量精度≤5%。 项目完成时通过可靠性测试和第三方异地测试，平均故障间隔时 间≥3000 小时，技术就绪度达到 8 级；至少应用于 2 个领域或 行业。明确发明专利、标准和软件著作权等知识产权数量，具有 自主知识产权；形成批量生产能力，经用户试用，满足用户使用 要求。1.14 形貌动态显微成像仪 研究内容：针对微纳传感器、微机电系统、集成电路等三维 形貌和振动特性测量需求，突破飞米量级面外振动测量、纳米量 级面内测振和纳米量级形貌测量等关键技术，开发具有自主知识 产权、质量稳定可靠、核心部件国产化的形貌动态显微成像仪， 开发相关软件和数据库，开展工程化开发、应用示范和产业化推 广，实现微纳加工与先进制造、微电子等领域的应用。 考核指标：面外振动测量频率范围 0~25MHz，速度范围 0~10m/s，面外位移分辨率≤50fm/Hz1/2；面内振动测量频率范围 0~2.5MHz，速度范围 0~10m/s，面内位移分辨率≤5nm；形貌垂