第三章薄膜的力学性质 意义 深入理解薄膜力学性能与薄膜制造工艺、显微组织结构 之间的关系是预测、改善和充分发挥薄膜材料的各类性能， 优化器件设计，提高器件寿命与可靠性的关键之一。 定义 ● 薄膜的力学性质，指的是薄膜和基底间的相互作用以及 薄膜在生成过程中引起的薄膜内部应力和应变，或者从外部 施以力和能量时，表现出的反应等等。第三章 薄膜的力学性质 深入理解薄膜力学性能与薄膜制造工艺、显微组织结构 之间的关系是预测、改善和充分发挥薄膜材料的各类性能， 优化器件设计，提高器件寿命与可靠性的关键之一。 薄膜的力学性质，指的是薄膜和基底间的相互作用以及 薄膜在生成过程中引起的薄膜内部应力和应变，或者从外部 施以力和能量时，表现出的反应等等。 意义 定义