第三章薄膜的力学性质 本章要点： ©薄膜的附着性能 Q附着类型 。附着力的性质 。影响薄膜附着力的工艺因素 。薄膜附着力的测量 。薄膜的内应力 。内应力的类别 。内应力的成因 。内应力的测量第三章 薄膜的力学性质 本章要点： 薄膜的内应力 薄膜的附着性能 附着类型 附着力的性质 影响薄膜附着力的工艺因素 薄膜附着力的测量 内应力的类别 内应力的成因 内应力的测量