3.1薄膜的附着性能 附着性能 核心 界面问题 影响很大 元器件的稳定性和可靠性 概念 薄膜附着力指的是薄膜对基体粘着能力的大小，即薄膜与衬 底在化学键合力或物理咬合力作用下的结合强度，取决于薄膜 成长的初始阶段，以及薄膜材料的结构类型。 将单位面积的薄膜从其衬底上剥离下来所需要做的功作为薄 膜附着力的量度。薄膜附着力指的是薄膜对基体粘着能力的大小，即薄膜与衬 底在化学键合力或物理咬合力作用下的结合强度，取决于薄膜 成长的初始阶段，以及薄膜材料的结构类型。 概念 3.1 薄膜的附着性能 将单位面积的薄膜从其衬底上剥离下来所需要做的功作为薄 膜附着力的量度。 附着性能 界面问题 元器件的稳定性和可靠性 核心 影响很大