3.1薄膜的附着性能 。附着类型 (a)简单附着 两个接触面间相互吸引而产生，形成突变界面（界面分界清楚)。 附着能： WR-E+Es ER (3-1) 式中，E和E,分别是薄膜和基片的表面能，E是它们之间的界面能。 f 影响因素： E ·表面干净程度 ·表面粗糙程度 图3-1简单附着示意图(a) 简单附着 附着类型 3.1 薄膜的附着性能 两个接触面间相互吸引而产生，形成突变界面（界面分界清楚）。 图3-1 简单附着示意图 式中，Ef和Es分别是薄膜和基片的表面能，Efs是它们之间的界面能。 Wfs=Ef+ Es - Efs (3-1) 影响因素： • 表面干净程度 • 表面粗糙程度 附着能：