3.1薄膜的附着性能 (b)扩散附着 两个固体间相互扩散或熔解而在薄膜和基体间形成一个渐变界面。 实现方法：基片加热法； 离子注入法； 增加扩散！ 离子轰击法； 扩散附着牢的原因：物理原因：增大了接触面积； 能量原因：薄膜原子在基片内有较低的位能 Example: 溅射镀膜 高能量增加扩散 图3-2扩散附着示意图(b) 扩散附着 两个固体间相互扩散或熔解而在薄膜和基体间形成一个渐变界面。 实现方法：基片加热法； 离子注入法； 离子轰击法； 扩散附着牢的原因：物理原因：增大了接触面积； 能量原因：薄膜原子在基片内有较低的位能 3.1 薄膜的附着性能 图3-2 扩散附着示意图 f S 增加扩散！ Example: 溅射镀膜 高能量增加扩散