第六章表面改性新技术 ③ S&三 CH口口L口 F MATER1 ALS SCIENGE& ENGINEERING 甲65离子注入技术 x碰撞过程中,离子不断消耗其能量,离子的 矿 业 运动方向不断改变。经过一段碰撞过程后,离 子的能量耗尽,就在固体表层内某一部位停留 下来,达到的表面改性的效果。 离子注入技术首先应用于半导体材料。该技 术使大规模集成电路的研究和生产获得了极大 的成功。70年代以后才开始用于金属材料的表 栏面改质 学 2 况2 6.5离子注入技术 碰撞过程中，离子不断消耗其能量，离子的 运动方向不断改变。经过一段碰撞过程后，离 子的能量耗尽，就在固体表层内某一部位停留 下来，达到的表面改性的效果。 离子注入技术首先应用于半导体材料。该技 术使大规模集成电路的研究和生产获得了极大 的成功。70年代以后才开始用于金属材料的表 面改质。 第六章 表面改性新技术