严(第六章表面改性新技术 ③ S&三 CH口口L口 F MATER1 ALS SCIENGE& ENGINEERING 65.1离子注入的基本原理及注入过程 离子注入的过程是将需要注入的元素在离 矿子源中进行离子化,以数千伏的电压把形成 业 的离子引入质量分析器,在质量分析器中把 具有一定荷质比的离子筛选出来,并导入加 速系统,在数千伏到数百千伏的加速电压作 用下,高能离子在扫描电场作用下,可在材 与料表面纵横扫描,从而实现高能离子对材料 程 表面的均匀注入 学 况3 6.5.1离子注入的基本原理及注入过程 离子注入的过程是将需要注入的元素在离 子源中进行离子化，以数千伏的电压把形成 的离子引入质量分析器，在质量分析器中把 具有一定荷质比的离子筛选出来，并导入加 速系统，在数千伏到数百千伏的加速电压作 用下，高能离子在扫描电场作用下，可在材 料表面纵横扫描，从而实现高能离子对材料 表面的均匀注入。 第六章 表面改性新技术