12≤2≤73，在所用加速电压范围内，过压比U为1<U<71。 样品厚度一般为几百~两千埃。试验时用样品污染点测量样品厚度[5]。使用Phieips EM400T透射电镜和EDAX9100能谐仪进行分析，加速电压为20~100KV,电子束斑尺 寸为400~1000且，计数率为500~3000Cps,分析活时间为150~200秒，获得的谱线均为 平滑的峰形以保证良好的统计效果。通过用Ip样品进行重复试验，证明仪器的重复性和 视场的重复性都很好，标准偏差6分别为0.146%和0.306% 三、EDAX9100能谱仪薄膜无标样法程序分析的准确度 用以上标准样品，研究了原机带来的两个计算程序SW9100/60Ver.1·1(简称A程 序)和SW9100/60Vεr,20(简称B程序)的准确度，同时研究了不同线系，不同加速电压 和出射角对试验结果的影响。试验结果示于图1-6。 由图1-6可以看出以下几点 1)在多数情况下，B程序对较低能量x射线的元素的分析成份较A程序分析的略高一 些。 :2)不管用哪一个程序，最重要的影响因素是选用什么样的x光线系进行分析。一般来 讲选用同一线系进行分析比用不同线系进行分析准确度要高得多，对中等能量x射线元素 1Cs(5) C(%) 1Cs(%) 60 02040608的16020406080100020406的80100 KV p=32 P=53° p=65 图19100能谱仪A,B程序对TS,分析结果 一A程序.-…B程序一一·一理论值 Cp(6) 1Cp(6) Cp(%) 、 26 24 2 21.20 20 国 0200G08010002040608010©02040608010前 pm32° 印=0 -44 KV 图29100能谱仪A,B程序对Inp分析结果 一A程序一B程序一一·一理论值 150哎 《 ， 在所用加速电压范围 内 ， 过压 比 为 丫 。 ’ 样品厚度一般为几百 两千埃 。 试 验时用样品污染点测量样品厚度仁〕 。 使用 如。 透射 电镜和 能谱仪进行分析 ， 加速 电压为 ， 电子束 斑 尺 寸为 入 ， 计数率为 ， 分析活时间为 秒 ， 获得的谱线均为 平 滑的峰形 以保证 良好 的统计效果 。 通过用 样品进行重复试验 ， 证 明仪器 的重复 性 和 视 场的重 复性都很好 ， 标准偏差 分另伪。 ‘ “ 和” ” “ 三 、 能谱仪薄膜无 标样法程序分析的准确度 用 以上标准样品 ， 研究 了原机带来的两个计算程序 · 简称 程 序 和 简称 程序 的准确度 ， 同时研究了不 同线系 ， 不同加速 电压 和出射角对试验结果的影响 。 试 验结果示 于 图 一 。 由图 一 可 以看出 以下 几点 在多数情况 下 ， 程序对较低能量 射线的元素的分析成份较 程序分析的略高 一 些 。 不管用哪 一个程序 ， 最重要的影 响因素是选用什么样的 光线系进行分析 。 一般来 讲选用同一线系进 行分析 比 用不 同线系进 行分析准确度要高得多 ， 对 中等能量 射线元素 、 、 、 一 ‘ 了 毛 气 、 一 不，以 石 打下淤猫厂扇下扮 ， 犷写犷节一言下萍了不 犷该厂若丁咬厂 痴 而矿 犷 甲‘ 。 印二 么。 甲 “ 图 。 。能谱仪人 、 程序对 卢 分析结果 － 程序 一 程序 一 一一 理论值 七 气 ， 、 劝户 、 、 ，一 一 一 ‘ 、 口 两‘ 、 妞 、 、 ， ‘ 如， 口 一 、 、 中· 。 印 · 全。 。 甲 一 今。 图 。 。能谱仪 、 程序对 分析结果 － 人程序 一 程序 一 一一 理 论值 导