设材料电阻率为p薄膜宽度w长度L厚t 薄膜电阻: REpL/wt (8-19) 经推导: dRR=dp/p=T0m+T⊥⊥(8-22) 薄膜材料的电阻率变化与横向和纵向应力 有关设材料电阻率为ρ,薄膜宽度w,长度L,厚t 薄膜电阻: R=ρL/wt (8-19) 经推导: dR/R=dρ/ ρ=π//σ//+ π⊥σ⊥ (8-22) 薄膜材料的电阻率变化与横向和纵向应力 有关