6)量程大:多层结构可从002N~30N 7)成本低:制造工艺简单、成品率高。 薄膜应变片原理 层结构:基片-绝缘层-敏感层 例:MM结构:金属基片-绝絲层~金属敏感层 机理:压阻效应。 引线电极敏感层 金属氧化物 基片 图8-3薄膜传感器结构6）量程大：多层结构可从0.02N~30N. 7) 成本低: 制造工艺简单、成品率高。 二、薄膜应变片原理 三层结构：基片-绝缘层-敏感层 例：MIM结构：金属基片-绝缘层-金属敏感层。 机理：压阻效应