点击下载:新型传感器原理及应用:《现代传感技术》(PPT课件)第14讲 薄膜传感器、薄膜应变片
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薄膜应变片采用溅射或蒸发的方法,消 除子传统应变片传递性不好的缺点。具 体优点如下: 1)稳定性好:蠕变和滞后低。 2)使用寿命长:承受105次以上的重复加 载 3)温度系数小 4)工作温度范围宽:多层结构可达(- 100~180℃)。薄膜应变片采用溅射或蒸发的方法,消 除了传统应变片传递性不好的缺点。具 体优点如下: 1)稳定性好:蠕变和滞后低。 2)使用寿命长:承受106次以上的重复加 载。 3)温度系数小 4)工作温度范围宽:多层结构可达 (- 100~180℃)
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