(4)化学气相沉积装置：高温大气压CVD:低温大气压CVD:低气压CVD:金属有机 CVD:激光增强CVD:等离子体增强CVD。 2.重、难点提示 (1)教学重点：化学气相沉积工艺： (2)教学难点：化学气相沉积的热力学和动力学计算。 第5章薄膜的生长过程和薄膜结构(6学时) 1.教学内容 (1)薄膜生长过程概述： (2)薄膜的自发和非自发形核理论： (3)连续薄膜的形成： (4)薄膜生长过程和结构： (4)非晶薄膜： (4)薄膜的外延生长。 2.重、难点提示 ()教学重点：薄膜的形成和生长过程： (2)教学难点：薄膜生长与形核理论。 第6章薄膜材料的表征(4学时) 1.教学内容 (1)薄膜厚度的测量： (2)薄膜结构的表征方法： (3)薄膜成分的表征方法。 2.重、难点提示 ()教学重点：薄膜结构和成分的表征技术： (2)教学难点：薄膜结构表征技术的原理。 七、学时分配 教学环节 章目 教学内容 理论教学学时 薄膜制备的真空技术基 4(4)化学气相沉积装置：高温大气压 CVD；低温大气压 CVD；低气压 CVD；金属有机 CVD；激光增强 CVD；等离子体增强 CVD。 2．重、难点提示 (1)教学重点：化学气相沉积工艺； (2)教学难点：化学气相沉积的热力学和动力学计算。 第 5 章 薄膜的生长过程和薄膜结构（6 学时） 1．教学内容 (1)薄膜生长过程概述； (2)薄膜的自发和非自发形核理论； (3)连续薄膜的形成； (4)薄膜生长过程和结构； (4)非晶薄膜； (4)薄膜的外延生长。 2．重、难点提示 (1)教学重点：薄膜的形成和生长过程； (2)教学难点：薄膜生长与形核理论。 第 6 章 薄膜材料的表征（4 学时） 1．教学内容 (1)薄膜厚度的测量； (2)薄膜结构的表征方法： (3)薄膜成分的表征方法。 2．重、难点提示 (1)教学重点：薄膜结构和成分的表征技术； (2)教学难点：薄膜结构表征技术的原理。 七、学时分配 章目 教学内容 教学环节 理论教学学时 一 薄膜制备的真空技术基 4