种电子为“Aug©r电子”.在图117中，L子层的电子向K层空位跃迁.L,子层的电子得到 其跃迁能变为Auger电子，称为L,L,Auger电子，它的动能可表示为： EA=(EK-E）-ELn÷EK-2E 1.5.3) 其中EKELEuE,分别表示K壳层、L壳层、L子壳层和处于离子化关态的L子 壳层电子的结合能。 二次辐射可用来评价物质。例如XPSX-Ray photoelectron Spectroscopy)法和 ESCA(Electron Spectroscopy for Chemical Analysis)法等。通过测定X射线光电子能量，可 以对固体表面层存在的元素及其结合状态进行分析：荧光X射线可对物质中的元素作分 析：另外还有Auger电子分光(Auger Electron Spectroscopy)法，也可用来做固体表面层元 素的定性及结合状态的分析。 1.6X射线的吸收 X射线通过物质时，如图1.18所示，将发生一复杂的过程，现分别讨论下列两个问 · 4A 散射我射线散射等 非弹性散射 片散射等雪 ,荧光载射线 入射载射线 ·透射载射线 光电子、电子、 反冲电子 欢电子 物质 图1.18X射线通过物质过程中的各种效应 1.6.1吸收系数 一定波长的X射线通过物质时，其强度的减少与所通过的距离成比例，若强度为I的 X射线通过厚度为dx的物质后，其减少量为dI,则有： -dI =udx 1.6.1) 其中，红为比例系数（称为线吸收系数）.积分式1.6.1)可得： I=Ioexp(-x） 1.6.2) 其中，1。为入射线的原强度，x为X射线通过的物质厚度。通过厚x的物质后，X射线的强 度变为1，线吸收系数：[m1]不仅与X射线的波长和物质有关，而且对同一种物质也因 其凝聚状态不同而异。所以，为了方便，又引入了：[mKg](p为物质的密度)，称为 。17种电子为“Ａｕｇｅｒ电子”。在图１１７中，Ｌ１子层的电子向Ｋ层空位跃迁。ＬⅢ 子层的电子得到 其跃迁能变为Ａｕｇｅｒ电子，称为Ｌ１ＬⅢＡｕｇｅｒ电子，它的动能可表示为： ＥＡｕｇｅｒ ＝（ＥＫ －ＥＬ１ ）－ＥＬ ′ Ⅲ ＥＫ －２ＥＬ （１５３） 其中ＥＫ、ＥＬ、ＥＬ１ 、ＥＬ ′ Ⅲ 分别表示Ｋ壳层、Ｌ壳层、Ｌ子壳层和处于离子化关态的Ｌ ′ Ⅲ 子 壳层电子的结合能。 二次辐 射 可 用 来 评 价 物质。例 如 ＸＰＳ（Ｘ－ＲａｙｐｈｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｎＳｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）法 和 ＥＳＣＡ（ＥｌｅｃｔｒｏｎＳｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙｆｏｒＣｈｅｍｉｃａｌＡｎａｌｙｓｉｓ）法等。通过测定Ｘ射线光电子能量，可 以对固体表面层存在的元素及其结合状态进行分析；荧光 Ｘ射线可对物质中的元素作分 析；另外还有Ａｕｇｅｒ电子分光（ＡｕｇｅｒＥｌｅｃｔｒｏｎＳｐｅｃｔｒｏｓｃｏｐｙ）法，也可用来做固体表面层元 素的定性及结合状态的分析。 １６ Ｘ射线的吸收 Ｘ射线通过物质时，如图１１８所示，将发生一复杂的过程，现分别讨论下列两个问 题。 热 物质 反冲电子 光电子、粤怎早藻则电子、妖电子 穴悦燥皂责贼燥灶散射等雪 穴栽澡燥皂泽燥灶散射等雪 非弹性散射 妖弹性散射 荧光 载射线 入射 载射线 散射 载射线 透射 载射线 图１１８ Ｘ射线通过物质过程中的各种效应 １６１ 吸收系数 一定波长的Ｘ射线通过物质时，其强度的减少与所通过的距离成比例，若强度为Ｉ的 Ｘ射线通过厚度为ｄｘ的物质后，其减少量为ｄＩ，则有： －ｄＩ Ｉ ＝μｄｘ （１６１） 其中，μ为比例系数（称为线吸收系数）。积分式（１６１）可得： Ｉ＝Ｉ０ｅｘｐ（－μｘ） （１６２） 其中，Ｉ０为入射线的原强度，ｘ为Ｘ射线通过的物质厚度。通过厚ｘ的物质后，Ｘ射线的强 度变为Ｉ，线吸收系数μ［ｍ－１］不仅与Ｘ射线的波长和物质有关，而且对同一种物质也因 其凝聚状态不同而异。所以，为了方便，又引入了μ／ρ［ｍ２ Ｋｇ－１］（ρ为物质的密度），称为 · ７１ ·