当d0减小△d时，且△d<d0 C+△C- E04 1 d。-△d -Co1-Ad/do (1) 由(1)式可得： 尝尝 (2) ACAd 当△d/d0<<1时，得到进似的线性关系C。d,: 电容传感器的灵敏度： K=△C/C≈1 △ddo (3) △C△d,,△d 1+ c。dd 如果考虑到(2)式中的线性项和非线性项： 电容传感器的相对非线性误差： △d/d)H ×100%=Ad/d×100% △d/d (4) 从(3)式可以看出，要提高灵敏度，应减小电容起始间隙d0,但d0的减 小受到电容器击穿电压的限制，不仅加工精度要求高，电容传感器的相对非线性 误差增加。当 d0 减小Δd 时，且Δd< d0 (1) 由(1)式可得： ( 2 ) 当Δd/d0<<1 时，得到进似的线性关系 ； 电容传感器的灵敏度： (3) 如果考虑到(2)式中的线性项和非线性项： ； 电容传感器的相对非线性误差： (4) 从(3)式可以看出，要提高灵敏度，应减小电容起始间隙 d0 ，但 d0 的减 小受到电容器击穿电压的限制，不仅加工精度要求高，电容传感器的相对非线性 误差增加