第四章金属薄膜的电导 意义 金属薄膜在电子学领域中应用最为广泛。例如，半导 体器件的电极、各种集成电路中的导线和电极、电阻器、 电容器、超导器件、敏感元件和光纤通信用元器件等。 金属薄膜的最重要性质是它的电导。其电导的大小和性质取 决于薄膜的结构和厚度，而这两者在很大程度上取决于成膜 工艺。金属薄膜在电子学领域中应用最为广泛。例如，半导 体器件的电极、各种集成电路中的导线和电极、电阻器、 电容器、超导器件、敏感元件和光纤通信用元器件等。 金属薄膜的最重要性质是它的电导。其电导的大小和性质取 决于薄膜的结构和厚度，而这两者在很大程度上取决于成膜 工艺。 意义 第四章 金属薄膜的电导