10 256 10 10 1 M 10 56K 10 10 1 K 10 197019751980198519901995 水平 缩写 单位芯片内的器件数 小规模集成电路 中规模集成电路 MSI 505000 大规模集成电路 500100000 特大规模集成电路 VISI 1000001000000 超大规模集成电路 ULS I 1000000年 （元件 芯片） / 水平 缩写 单位芯片内的器件数 小规模集成电路 中规模集成电路 大规模集成电路 特大规模集成电路 超大规模集成电路 SSI MSI LSI VLSI ULSI 2 ~ 50 50 ~ 5000 5000 ~100 000 100 000 ~ 1 000 000 > 1 000 000