第9章半导体传感器 91气敏传感器 用半导体气敏元件组成的气敏传感器主要用于工业上天 然气、煤气、石油化工等部门的易燃、易爆、有毒、有害气 体的监测、预报和自动控制,气敏元件是以化学物质的成分 为检测参数的化学敏感元件。 气敏电阻的工作原理 气敏电阻的材料是金属氧化物,在合成材料时,通过化学 计量比的偏离和杂质缺陷制成,金属氧化物半导体分N型半导 体,如氧化锡、氧化铁、氧化锌、氧化钨等P型半导体,如氧 化钴、氧化铅、氧化铜、氧化镍等。为了提高某种气敏元件 对某些气体成分的选择性和灵敏度,合成材料有时还渗入了 催化剂,如钯(Pd)、铂(Pt)、银(Ag)等第9 章 半导体传感器 9.1 气 敏 传 感 器 用半导体气敏元件组成的气敏传感器主要用于工业上天 然气、煤气、石油化工等部门的易燃、易爆、有毒、有害气 体的监测、预报和自动控制, 气敏元件是以化学物质的成分 为检测参数的化学敏感元件。 一、 气敏电阻的材料是金属氧化物, 在合成材料时, 通过化学 计量比的偏离和杂质缺陷制成, 金属氧化物半导体分N型半导 体, 如氧化锡、氧化铁、氧化锌、氧化钨等,P型半导体, 如氧 化钴、 氧化铅、氧化铜、氧化镍等。为了提高某种气敏元件 对某些气体成分的选择性和灵敏度, 合成材料有时还渗入了 催化剂, 如钯（Pd）、铂（Pt）、银（Ag）等