9100能谱仪分析谁确度为：同一K线系分析，A程序相对误差基本小于10%，B程序相对 误差则为5%或更低，同一L系分析，A、B两程序均为7%左右，在采用不同线系分析的 条件下，A、B两程序的相对误差可达20~50%。所采用两个线系的x射线能量差越大， 相对误差愈大。因此，在分析时应尽可能选用同一线系，如必须选用不同线系分析时，也 尽可能选择能量离得近的线系进行分析。 EDAX9100能谱仪并未公布他的计算公式，为了弄清这一点，我们用Goldstein等 的理论K因子公式对我们的试验数据进行了计算，计算结果与EDAX9100能谱仪所得结 果进行对比。计算时根据公式： CA/CB=KABIA/IB (1) KAB=QBOELBTAA/QAOALATAAB (2) 式中Q为电离截面，ω为荧光产额，L为相对强度分数，T为探头探测效率，A为原子量° 从上式看出，在一定的仪器条件下，影响KAB的主要因素是Q和0，而Q和ω的理论计算公 式不止一种，常用公式为： 1)荧光产额⊙： Colby[6]的荧光产额： (o/1-o)'1.=A+BZ+CZ3 (3) A、B、C对不同壳层是常数，以下简称①1 Bambynek[7]的or和wentzel[8]的oL和oM: ox=1/1+K-,K=0.015+0.0327Z-0.64×10-6Z3 (4-1) 0L=Z4/108+Z4 (4-2) ①M=Z4/7.5×108+Z4 (4-3) 以下简称(4)式⊙2 2)电离截面Q: Mott和Massey[9]的QwM: QMME2jan.b (In2,42U)/U (5) Green和Cosslett[10]的QGc: QccE,2an-b·(lnU)/U (6) 其中：E:为特征x射线临界激发能，U为过压比，为该壳层电子数，b为线系常数， 计算时取Mott和Massey的数值bK:bL:bw=0.35:0.25:0.25,我们将以上两种o和两种Q 按不同组合匹配成两组，简称组合I、组合Ⅱ。 组合I为o:与QMm或Qcc的两种组合， 组合I为⊙2与QMM或Qcc的两种纽合。 用两种组合的公式对五种标准样品进行了计算，选其两组线系的计算结果画于图7一 8中，与图1、图6进行比较，可知EDAX9100能谱仪获得成份~电压曲线与公式组合I、 I获得成份~电压曲线形状是完全一致的。其余线系计算结果与此类似，由此可基本确 定EDAX9100能谱仪的A、B程序中所用电离截面公式属于QM和QGc一类。 由上述公式可以推测，如果EDAY9100程序中选择的bx:bL:bM值不恰当，就会在用不 同线系测量时造成较大误差，如果Q值计算公式不当时，就会引起由于加速电压变化带 来的误差。 153能谱仪分析准确度为 同一 线系分析 ， 程序相对误差 基本小于 ， 程序相 对 误 差则为 或更低 ， 同一 系分析 ， 、 两程序均为 左 右 ， 在采用不 同线 系分 析 的 条件下 ， 、 两 程序的相对误 差 可达 。 所采用两个线系的 射线能量 差 越 大 ， 相对误差 愈大 。 因此 ， 在分析时应尽 可能选 用同一 线系 ， 如必须选用不 同线系分析时 ， 也 尽 可能选 择能量离得近 的线系进 行分析 。 。 。 能谱仪并未公布他的计算公 式 ， 为了弄清这一 点 ， 我们 用 等 的理论 因子公式对我们的试 验数据进行了计算 ， 计算结果与 能谱仪所得 结 果进行对比 。 计算时根据公式 。 。 · 。 。 。 。 人 ， 式 中 为 电离截面 ， 为荧光产额 ， 为相对强度分数 ， 为探头探测效率 ， 为原子 量 。 从 上式看出 ， 在一定的仪器条件下 ， 影 响 。 的主 要 因素是 和。 ，而 和。 的理论 计 算公 式不止 一 种 ， 常用公式为 荧光产额。 〔 〕 的荧光产额 一 。 ’ 八 ” 、 、 对不 同壳层 是常数 ， 以下简称 。 ， 〔 〕 的。 和 〕 的。 和 。 。 一 ‘ ， 一 一 一 峨 一 。 ‘ 一 以下简称 式。 电离截面 和 〔 〕 的 ， · ， · 。 和 〔 」的 · ‘ · · 其 中 ，为特征 射线 临界激发能 ， 为 过 压 比 ， 为该壳层 电子数 ， 为线系常数 ， 计算时取 和 的数值 。 。 ， 我们将 以上两种 。 和两种 按不 同组 合匹配成 两组 ， 简称组 合 、 组 合 亚 。 组 合 为。 ‘ 与 、，、。或 的两种组 合 ， 组合 为。 与 翩或 。 的两 种组 合 。 用两种组 合的公式对五 种标准样品进行了计算 ， 选其两 组线系的计算结果画 于 图 一 中 ， 与图 、 图 进行比 较 ， 可知 能谱仪获得成份 电压 曲线与公式 组合 、 获 得成 份 电压 曲线形 状是完 全一致 的 。 其余线系计算结果与此 类似 ， 由此 可 基 本 确 定 。 。 能谱 仪的 、 程 序 中所用 电离截面 公式 属 于 ， 和 。 。 一 类 。 由上述 公式可 以 推测 ， 如果 。 程序 中选择 的 值不恰 当 ，就会在用不 同线 系测 量 时造成较大误 差 ， 如果 值计算公式不当时 ， 就会 引起 由于加速 电压 变 化 ‘ 带 来的误 差 。 每