别是经过这种改进之后，可以大大改善不同线系的分析结果，同时也明显地减少了由于电 压变化带来的误差。 六、结 论 1)采用EDAX]00能谱仪做薄膜无标样成份分析时，应尽可能选用高电压。在选用 同一线系进行分析的条件下，并且人、B元素的质量吸收系数之差Aμ较小时，得到的结 果误差较小，基本可以不作修正。当元素含量在20~60%范围内，B程序K-K线系分析的 相对误差为5%左右，A程序的K-K线系分析相对误差为10%左右。A、B程序的L-L线系 分析相对误差为7%左右，但在选用不同线系分析时，相对误差可大到20~50%。 2)对于不同线系进行分析时，应选取更合近的电离截面公式Q,并对线系常数进行 调正。本实验认为取bx:bL:bM=0.35:0.35:24比较合适。调正后的取值与QB、①2匹配 并经过吸收修正后，对不同线系分析的相对误差大大减小，基本上达到小于5%的水平， 同时可以消除由于那速电压的不同而引起的误差。 3)在所分析)心素特征x射线的质量吸收系数之差Au较大时(Aμ>1000)必须光虑 樽膜样品吸收修正。吸收修正公式用Goldstein等的简化公式： FAb=e×p[-(h5-μA)ptcsci/2] ※ ※ ※ 物质结构分析中心的金建灵、李晓峰、林志同志参加了本课题的试验工作。 北京钢铁研究院五室王斌、师燕渝等同志给予热情支持。协助作了部分试验工作。 特此表示衷心感谢。 参考文献 [1]G.Cliff and G.W.Lorimer,"Quantitative Analysis of Thin Metal Foils Using EMMA-4, The Rati:Technique,Proc.First Europ.Cong.on EM,Institute of Physic:,London,1972, 140-141. [2]G.Cliff and G.W.Lorimer,"The Quantitativo Analysis of Thin Specimens,J.Microscopy. 103,1975,203-207. [3]G.W.Lorimer,S.A.AL-Salman,and G.Cliff,"The Quantitative Analysis of Thin Specim- ens Effects of Absorption,Flaorescence and Beam Spreading,Developments in ElectronMi- corscopy and Analysis 1977,ed.D.L.Misell,Bristol and London,Inst,Physics,1977,369. [4]J.I.Goldstoin,J.L.Costley,G.W.Lorimer,and S.J.B.Reed,"Quantitative.X-Ray An- alysis in The Eleetron Microscope,SEM/1977,Vol I,ed.O.Johari,ChicagolITRI,1977,315. [5]G.W.Lorimer,G.Cliff and J.N.Clark,"Determination of the Thickness and Spatial Re- solution for the Quantitative Analysis of Thin Fois,"Developments in Electron Microscopy and Analysis 1975,ed.J.A.Venables,London,Academic Press,1977,153. [e]J.W.Colby,"Quantitative Microprobe Analysis of Thin Insulating Films,Advances in XRay Analysis,Vol 11,1968,292. [7]W.Bambynek et al,"X-Ray Fluorescence Yields,Auger,and Coster-Kronig Transition Proba- bilities,Rev.Mod.Pbys.,1972,44,716. 158别是经过这种改进 之后 ， 可以大大改善不同线系的分析结果 ， 同时也明显 地减少 了 由于 电 压 变化带来的误 差 。 六 、 结 采用 〕 能谱 仪做薄膜无标样成份分析时 ， 应 尽 可能选用高 电压 。 在选用 同一 线 系进行分析 的条件下 ， 并且 、 元素的质量 吸收系数之 差八卜 较小 时 ， 得 到的 结 果误 差 较小 ， 基本 可 以 不作修正 。 当元素 含量在 范 围 内 ， 程 序 一 线 系分析的 相对误 差 为 左 右 ， 程序的 一 线 系分析相对误 差 为 左右 。 、 程序的 一 线系 分析相 对误 差 为 左 右 ， 但在选用不 同线系分析时 ， 相对误 差 可 大到 。 对 于不 同线 系进行分析时 ， 应选取更 合适 的 电离截面公式 。 ，， 并对线系常数进 行 调 正 。 本实验 认为取 “ 二 比较合适 。 调 正 后 的取值 与 。 ，、 。 匹 配 并经 过吸 收修正后 ， 对不 同线系分析的相对误 差 大大减 卜 ， 基本 达 到小于 的 水 平 ， 同时可 以消除由于加速 电压 的不 同而 引起 的误 差 。 在所 分析 元素特征 射线的质量 吸 收 系数之差 △卜较大 时 八卜 。 。 必 须 考 虑 薄膜样品吸收 修正 。 吸收修正公式用 等的简化公式 。 〔 一 扛。 一 卜 中 〕 太 米 米 浓 物质结构分析 中心 的金建灵 、 李晓峰 、 林志 同志参加了本课题 的试验工 作 。 ‘ 北京钢铁研究院五室王 斌 、 师燕偷等同志给予热情支持 。 协助作了 部分试验工 作 。 特此 表示 衷心 感谢 。 参 考 文 欲 一 纽 ， 益 了 五 ， ” 。 ， 一 。 一 ， 五 二 ， ， 幻 。 ， “ 五 了 五 ， ” 。 了 ， ， 一 。 〕 口 ， 一 ， ， “ 五 卫 。 ， ‘ ， ” 珑 六 了 ， ， ， 五 ， ， 五 ， ， 一 。 ， 。 了， 二 ， ， ， 万 一 玉 五 。 ， ” ， ， 。 五 ， ， ， 〕 。 ， ， “ 五 飞 了 ， 。 了 ， ， ， ， ， ， 〕 一 。 妙 ， 。 ， 人 ，。 ， ， ” 。 了 ， ， ， 一 一 了 ， ‘ 一 了 ， ， 扮 一 ‘ 甘 玉 二 ， ， 卜了 ， ， 魂一