《集成电路工艺》课程教学大纲（三号黑体） 一、课程基本信息（四号黑体） 英文名称 集成电路工艺 课程代码 PHYS2047 课程性质 专业教学课程 授课对象 物理学等专业 学分 2 学时 36 主讲教师 辛煜 修订日期 2023.9.4 指定教材施敏，《半导体器件：物理与工艺》.苏州大学出版社，2002年 二、课程目标（四号黑体） (一)总体目标：（小四号黑体） (以三维目标即知识与技能、过程与方法、情感态度与价值观的形式反映核心素养观念 和内容，其中核心素养不仅关注学生“当下发展”，更关注学生“未来发展”所需要的正确 价值观 必备品格和关键能力，即把知识、技能和过程、方法提炼为能力，把情感态度、 价值观提炼为品格)（五号宋体） 半导体工艺是了解半导体器件加工、制作、以及功能实现的一门实用性很强的课程，通 过本课程的学习，重点使学生了解主要半导体晶体的生长与外延技术，掌远重要半导体器件 单元如MOSFET等中涉及的四种薄膜沉积方法与制作过程，弄清半导体器件几何图形的生 成方法，认识实现半导体导电类型的掺杂机制等。学习过程中，将穿插学习半导体器件（如 MOSFET)的制作过程以及深亚微米技术的最新进展等。 (二)课程目标：（小四号黑体） (课程目标规定某一阶段的学生通过课程学习以后，在发展德、智、体、美、劳等方面 期望实现的程度，它是确定课程内容、教学目标和教学方法的基础。)（五号宋体） 课程目标1： 第一章晶体生长与外延 1、教学内容 使用柴可拉斯基法或提拉法，从熔融的硅液体中生长单品硅，使用悬浮区熔工艺进一步 提纯单品硅；布里吉曼法生长复合半导体GAs品体，了解硅材料的相关特性，半导体硅以 及GAs的一些外延生长技术，以及涉及到外延层的构造和缺陷等。另外，还将通过PpT展 《集成电路工艺》课程教学大纲（三号黑体） 一、课程基本信息（四号黑体） 英文名称 集成电路工艺 课程代码 课程性质 专业教学课程 授课对象 物理学等专业 学 分 2 学 时 36 主讲教师 辛煜 修订日期 2023.9.4 指定教材 施敏，《半导体器件：物理与工艺》，苏州大学出版社，2002 年 二、课程目标（四号黑体） （一）总体目标：（小四号黑体） （以三维目标即知识与技能、过程与方法、情感态度与价值观的形式反映核心素养观念 和内容，其中核心素养不仅关注学生“当下发展”，更关注学生“未来发展”所需要的正确 价值观念、必备品格和关键能力，即把知识、技能和过程、方法提炼为能力，把情感态度、 价值观提炼为品格）（五号宋体） 半导体工艺是了解半导体器件加工、制作、以及功能实现的一门实用性很强的课程，通 过本课程的学习，重点使学生了解主要半导体晶体的生长与外延技术，掌握重要半导体器件 单元如 MOSFET 等中涉及的四种薄膜沉积方法与制作过程，弄清半导体器件几何图形的生 成方法，认识实现半导体导电类型的掺杂机制等。学习过程中，将穿插学习半导体器件（如 MOSFET）的制作过程以及深亚微米技术的最新进展等。 （二）课程目标：（小四号黑体） （课程目标规定某一阶段的学生通过课程学习以后，在发展德、智、体、美、劳等方面 期望实现的程度，它是确定课程内容、教学目标和教学方法的基础。）（五号宋体） 课程目标 1： 第一章 晶体生长与外延 1、教学内容 使用柴可拉斯基法或提拉法，从熔融的硅液体中生长单晶硅，使用悬浮区熔工艺进一步 提纯单晶硅；布里吉曼法生长复合半导体 GaAs 晶体，了解硅材料的相关特性，半导体硅以 及 GaAs 的一些外延生长技术，以及涉及到外延层的构造和缺陷等。另外，还将通过 PPT 展 PHYS2047