(2)抽气速率：在一定的温度与压力下，单位时间内泵从被抽容器抽出气体的体积， 单位（升/秒）. (3)启动压强：泵能够开始正常工作的最高压强。 表1真空区域划分及其特点和应用 真空区域 粗真空 低真空 高真空 超高真空 极高真空 范围（帕） 1010 1010 10106 10102 102 能实现气传 能实现气体 主要是分 分子碰撞 分子数目极 放电，以分子何相故申，分子间相五 与器壁碰撞 球的次数成少，形为稀少，以致统 瓦磷撞为主 碰撞和分子与器 成一个单分子园涨落现象比较斗 物理现象 能描不相上下 的时间日达数重（大于） 分钟以上 经典统计规律 了偏差 分子密度 10191017 107.105 10510 103102 <10 (厘米) 平均自由程 105.103 10310 10-10 10109 (厘米) >10 超高直空机组 扩敬泵 相械每 机械裂 分子泵 抽气系统 吸附 吸附泵 分子系 离子乘 低温泵 麦克劳压强i 麦克劳压强试 U形管压差计日 电阻直空 电离直空计 超高直空电离： 测量仪器 力直容老 热偶真空计 潘宁规 离地面高度 14-30 30-90 90-440 440-20000 >20000 (千米) 真空成形、真 真空蒸馏、 真空治金， 表面物理、书 空输运、真空浓燥、冷冻，真空到 空糖膜.由直署核反减.丝离可 应用举例 热，真空焊接 件，粒子加速器。 体、物理、招导 术，字航技术 机械泵 机械系是运用机械方法不断地改变泵内吸气空腔的容积，使被抽容器内气体的体积不 断影胀压缩从而获得直空的泵，机械泵的种类很多，目前常用的是旋片式机械泵 图1是旋片式机械泵的结构示意图， 应是中 一个定子和一个偏心转子构成。定子为 圆柱形空腔， 空腔上装着进气管和出气阀门，转子顶端保持与空腔壁相接触，转子上开有 槽，槽内安放了由弹簧连接的两个刮板。当转子旋转时，两刮板的项端始终沿者空腔的内 壁滑动，整个空腔放置在油箱内.工作时，转子带着旋片不断游转，就有气体不断挂出 完成抽气作用.旋片旋转时的几个典型位置如图2所示.当刮板A通过进气口（图2(a) 所示的位置)时开始吸，随若利板A的云动吸气容间不断博大，到图)()所示位留 时达到最大.刮板继续运动，当刮板A运动到图2(c)所示位置时，开始压缩气体， 压 -23-（2）抽气速率：在一定的温度与压力下，单位时间内泵从被抽容器抽出气体的体积， 单位（升/秒）． （3）启动压强：泵能够开始正常工作的最高压强． 表 1 真空区域划分及其特点和应用 真空区域 粗真空 低真空 高真空 超高真空 极高真空 范围（帕） 105 ~103 103 ~10-1 10-1~10-6 10-6~10-12 <10-12 物理现象 能实现气体 放电，以分子间相 互碰撞为主． 能实现气体 放电，分子间相互 碰撞和分子与器 壁碰撞不相上下． 主要是分子 与器壁碰撞． 分子碰撞器 壁的次数减少，形 成一个单分子层 的时间已达到数 分钟以上． 分子数目极 为稀少，以致统计 涨落现象比较严 重（大于 5%）， 经典统计规律产 生了偏差． 分子密度 （厘米-3） 1019~1017 1017~1013 1013~108 108 ~102 <102 平均自由程 (厘米) 10-5~10-3 10-3~10 10~107 107 ~1012 >1012 抽气系统 机械泵 吸附泵 机械泵 吸附泵 扩散泵 分子泵 超高真空机组 分子泵 离子泵 低温泵 测量仪器 U 形管压差计压 力真空表 麦克劳压强计 电阻真空计 热偶真空计 麦克劳压强计 电离真空计 潘宁规 超高真空电离计 离地面高度 (千米) 14~30 30~90 90~440 440~20000 > 20000 应用举例 真空成形、真 空输运、真空浓 缩． 真空蒸馏、干 燥、冷冻，真空绝 热，真空焊接． 真空冶金，真 空镀膜，电真空器 件，粒子加速器． 表面物理、热 核反应、等离子 体、物理、超导技 术，宇航技术． 机械泵 机械泵是运用机械方法不断地改变泵内吸气空腔的容积，使被抽容器内气体的体积不 断膨胀压缩从而获得真空的泵，机械泵的种类很多，目前常用的是旋片式机械泵． 图 1 是旋片式机械泵的结构示意图，它是由一个定子和一个偏心转子构成．定子为一 圆柱形空腔，空腔上装着进气管和出气阀门，转子顶端保持与空腔壁相接触，转子上开有 槽，槽内安放了由弹簧连接的两个刮板．当转子旋转时，两刮板的顶端始终沿着空腔的内 壁滑动．整个空腔放置在油箱内．工作时，转子带着旋片不断旋转，就有气体不断排出， 完成抽气作用．旋片旋转时的几个典型位置如图 2 所示．当刮板 A 通过进气口（图 2（a） 所示的位置）时开始吸气，随着刮板 A 的运动，吸气空间不断增大，到图 2（b）所示位置 时达到最大．刮板继续运动，当刮板 A 运动到图 2（c）所示位置时，开始压缩气体，压缩 - 23 -