到压强大于一个大气压时，排气阀门自动打开，气体被排到大气中，如图2()所示.之 后就进入下一个循环。整个泵体必须浸没在机械泵油中才能工作，泵油起着密封润滑和冷 却的作用. 机械泵可在大气压下启动正常工作，其极限真空度可达10Pa,它取决于：①定子空 间中两空腔间的密封性，因为其中一空间为大气压，另 空间为极限压强，密封不好将 接影响极限压强：②排气口附近有一“死角”空间，在旋片移动时它不可能趋于无限小， 因此不能有足够的压力去顶开排气阀门：③泵腔内密封油有一定的蒸汽压（室温时约为10 Pa). 旋片式机械使用时必须注章以下几占 (1)启动前先检查油槽中的油液面是否达 到规定的要求，机械泵转子转动方向与泵的规定 方向是否符合（否则会把泵油压入真空系统）. 出水口 (2)机械泵停止工作时要立即让进气口与 三级喷口 大气相通，以清除泵内外的压差，防止大气通过 二级喷口 缝隙把泵内的油缓缓地从进气口倒压进被抽容 水冷套 器(“回油”现象).这一操作 一股都由与机槭东 进气口上的电磁阀来完成，当泵停止工作时，电 进水口 磁阀自动使泵的抽气口与真空系统隔绝，并使泵 级喷口 的抽气口接通大气， 油蒸气流 (3)泵不宜长时间抽大气，否则因长时间 返油管 大负荷工作会使泵体和电动机受损 加热电路 扩散泵 扩散泵是利用气体扩散现象来抽气的，最早 用来获得高真空的泵就是扩散泵，目前依然广泛 使用.图3是一个具有三级喷嘴的扩散泵结构示 图3三级喷嘴油扩散泵 进气口（接至被抽系统） 进气滤网 进气 别 非气孔 (a (b) 阀 工作室 定子 (c) (d) 图！旋片式机械泵结构 图2旋片式机械杂的工作原理 .24 到压强大于一个大气压时，排气阀门自动打开，气体被排到大气中，如图 2（d）所示．之 后就进入下一个循环．整个泵体必须浸没在机械泵油中才能工作，泵油起着密封润滑和冷 却的作用． 机械泵可在大气压下启动正常工作，其极限真空度可达 10-1 Pa，它取决于：①定子空 间中两空腔间的密封性，因为其中一空间为大气压，另一空间为极限压强，密封不好将直 接影响极限压强；②排气口附近有一“死角”空间，在旋片移动时它不可能趋于无限小， 因此不能有足够的压力去顶开排气阀门；③泵腔内密封油有一定的蒸汽压（室温时约为 10-1 Pa）． 旋片式机械泵使用时必须注意以下几点： （1）启动前先检查油槽中的油液面是否达 到规定的要求，机械泵转子转动方向与泵的规定 方向是否符合（否则会把泵油压入真空系统）． （2）机械泵停止工作时要立即让进气口与 大气相通，以清除泵内外的压差，防止大气通过 缝隙把泵内的油缓缓地从进气口倒压进被抽容 器（“回油”现象）．这一操作一般都由与机械泵 进气口上的电磁阀来完成，当泵停止工作时，电 磁阀自动使泵的抽气口与真空系统隔绝，并使泵 的抽气口接通大气． （3）泵不宜长时间抽大气，否则因长时间 大负荷工作会使泵体和电动机受损． 扩散泵 扩散泵是利用气体扩散现象来抽气的，最早 用来获得高真空的泵就是扩散泵，目前依然广泛 使用．图 3 是一个具有三级喷嘴的扩散泵结构示 图 3 三级喷嘴油扩散泵 图 1 旋片式机械泵结构 （a） （b） （c） （d） 图 2 旋片式机械泵的工作原理 - 24 -