二、温敏金属材料 /986 3.金属薄膜温度敏感元件 T (K) 10 20 30 40 50 6070 15 35 10 53 79 126 5 507 210 2 3 4 T2 (kK2) 蒸发在云母片上的Au薄膜的电阻与膜厚和温度的依赖关系 电子科技大学敏感材料与传感器课程组 制作0 1 2 3 4 5 T 2（ kK 2） 1 0 2 0 3 0 4 0 5 0 6 0 7 0 1 5 1 0 5 3 5 5 3 7 9 1 2 6 2 1 0 5 0 7 电 阻 率  (   c m ) T （ K ） 蒸发在云母片上的Au薄膜的电阻与膜厚和温度的依赖关系 3. 金属薄膜温度敏感元件 二、 温敏金属材料