D0I:10.13374/j.issm1001-053x.1983.03.003 北京钢铁学院学报 1983年第3期 薄晶体定量立体电予显微术 金相教研室李长海 借助于衍射衬度成像，一般的电子显微术可以显示出晶体薄膜试样内部组织的许多信息， 这时只需要在特定的衍射条件下摄取一张衍衬像。然而只依据这样一张衍村像并不能判断某 些显微组织在试样内部的空间立体分布。-一些工作，例如本期学报所发表的作者的一些工 作，往往要求了解沉淀物的三维分布等等，这就必需采用薄晶体试样的定量立体电子显微技 术。 两台相机所处的位置有着一个共同的倾转轴，由这样的两台相机向与两相机等距离的物 体同时摄图象，随后在用立体观察镜看这样两张图象时，只要图象上相应于相机倾转轴的轴 线与立体观察镜两目镜的中心连线相垂直，我们就能视察到取摄物体的立体图象，这就是立 棒摄影的基本原理。将这一原理用于块伏试样的扫描电镜观察或者碳复型的透射电镜观察， 都可以很容易地得到立体图象对。因为这时只需要使试样沿试样台的某一机械轴倾转，并在 倾转前后分别由试样的同一区域摄取两张放大倍数相同的图片就可以了。但是这样的简单倾 转在薄晶体试样的立体电子显微技术操作中是不可行的，·因为立体图片对要求具有同样的 “形貌”，而薄晶体衍射象的形貌是由衍射条件确定的，这就要求两者的衍射条件基本一 致，只有试样是沿着内部的某一 倾装方向 晶体学方向倾转时，上述要求才 能达到。 (131) (131) 图1是试样倾转的一个识 KIkuchi Line 例。这时的电子束方问临近于试 (000) (T11) 样的〔211)晶带轴，衍衬象摄取 o22j(i3认 222) C 所便用的衍射束为(131)，偏移矢 (240) 240) Kikuchi Line 〔2110 量S是一个较小的正值。显然， 为保持试样倾转前后的衍射条件 不变，只能以g(131)为倾转轴， 图1 试样按照菊池线倾转（以相应的g矢量为倾转 在衍射谱上则表现为在试样倾转 轴)的示意图 过程中以(131)菊池线对为试样 的倾转方向。显然这只有使用电镜的双向倾动台才能办到。 立体电子显微术定性观察要求立体象对之间的倾转角约为3~5°就已足够，而为了提高 定量电子显微术的试验精度则要求倾转角至少为8~10°。由上述的倾转过程可见，我们并 不能由电镜本身带有的测角仪直接读出试样沿某一品传轴倾转的角度，而定量计算又必需知 43北 京 钢 铁 学 院 学 报 年第 期 薄晶体定量立体 电予显微术 金 相教研 室 李长海 借助于 衍射衬 度成像 ， 一般的 电子显 微 术可 以 显 示 出晶体薄膜 试样 内部组织 的许多信息 ， 这 时只 需要 在特 定 的 衍射 条件下摄 取一张 衍衬像 。 然而只 依据 这 样一张 衍衬 像 并不能判断某 些显微 组织 在试 样 内部 的 空 间立休分布 。 一 些 工 作 ， 例如 本期学报所 发表 的 作者 的一些工 作 ， 往往要求 了解 沉淀物的三 维 分布等等 ， 这 就 必需采 用 薄晶体试样的 定量立体 电子显徽技 术 。 两 台相机所 处 的位 置有若一 个共 同 的倾转 轴 ， 由这样 的两 台相机 向 与两 相机等距 离 的物 体同时摄 图 象 ， 随后 在用立体观察镜 看这样 两 张 图 象时 ， 只 要 图 象 上相应 于 相机倾转轴 的轴 线与立体观察镜两 目镜 的 中心连 线相 垂 直 ， 我们 就能 观 察到取摄 物体 的立体 图象 ， 这 就是立 律级影的 基本原理 。 将这一原理 用于 块 状试样 的扫 描 电镜观 察或者碳 复型 的透射 电镜观察 ， 部可以 很 容易地得 到立体 图象 对 。 因 为这 时只 需要使试样 沿试样 台的某一机械轴倾转 ， 并在 倾转前后 分另 由试 样 的 同一 区域摄 取 两 张 放大倍 数相 同 的图片 就可 以 了 。 但是这样 的简单倾 转在 薄 晶体试 样 的 立体 电子显 微 技 术 操 作 中是不可行 的 ， “ 形 貌” ， 而 薄 晶体衍射象 的 形 貌是 由衍射 条件 确定的 ， 致 ， 只有试样是沿着 内部 的某一 晶体学方 向倾转 时 ， 上述 要求才 能 达 。 百 ，誉 因为立体 图片 对要求 具有同样的 这 就 要求 两 者 的 衍射 条件基本一 倾转方向二 图 是试 样倾 转 的 一 个实 例 。 这 时的 电子 束方 问临近 于试 样的 〔 〕晶带 轴 ， 衍衬 象摄 取 所便用的 衍射 束为 百 ， 偏 移矢 是一个较小 的正 值 。 显 然 ， 为保持试样倾转前后 的 衍射 条件 不变 ， 只 能以 曹 为倾转 轴 ， 图 在衍射 谱 上则表现为在试样 倾转 过程 中以 孔 菊 池 线对 为试 样 百 】 闷二二二 。 而塑 乏 〕 试样按 照菊池 线倾转 轴 的示 意图 以相 应 的 矢 为倾转 的倾 转方 向 。 显 然这 只 有使用 电镜 的 双向倾 动 台才 能办到 。 立 体 电子显 微 术 定性 观 察要求立 体 象 对之 间 的倾转 角约 为 。 就 已 足够 ， 而为了提 高 定量 电子显微 术 的试 验 精 度则 要求倾 转 角至 少 为 。 。 由上述 的 倾转 过程 可 见 ， 我们 并 不能 由电镜本身带 有 的测 角仪 直接 读 出试 样 沿某一 晶体 轴 倾转 的 角度 ， 而 定量 计算又必藉知 DOI ：10．13374／j ．issn1001－053x．1983．03．003