第七章气相沉积技术 ③ S&三 CH口口L口 F MATER1 ALS SCIENGE& ENGINEERING 基本条件 沉积温度下必须有足够高的蒸汽压; 甲国矿业大学材科科学与工程学院 反应生成物除所需沉积物为固态外, 其余为气态 沉积物本身饱和蒸汽压足够低。5 • 基本条件 • 沉积温度下必须有足够高的蒸汽压； • 反应生成物除所需沉积物为固态外， 其余为气态； • 沉积物本身饱和蒸汽压足够低。 第七章 气相沉积技术