1)反应物的 CVD反应室 质量传输 气体传送 7)副产物的 8)副产物去除 2)薄膜先驱 解吸附作用 物反应 00副产物 排气 8 3)气体分子 路q8 扩散 5)先驱物扩散 6表面反应 连续膜 4)先驱物的 到衬底中 吸附 衬底4