即可。②位移传感器：用以测量位移量的大小，如图97c所示，在两层导轨上，一面周定 磁芯27，另一面固定线圈26和线圈支架25。③阻尼机构：用以减小高分辨率测量时外界振 动的影响。如图97所示，在作相对运动的上阻尼支架28和下阻尼支架31上各固定阻尼 片29和30，在两阻尼片间形成毛细间隙，中间放入粘性硅油，使两层导轨在运动时，产生 阻尼力，避免由于片簧机构过于灵敏而产生振荡。 该测头加力机构工作原理如图9-7所示，其中X向加力机构和Y向加力机构相同（图 中只表示出了X向)。X向加力机构是利用电磁铁6推动杠杆5，使其绕十字片簧8的回转中 心转动而推动中间传力杆7围绕波纹管4组成的多向回转中心旋转，由于中间传力杆与转接 座17用片簧相连，因而推动测头在X方向“预偏置”。Z向加力机构是利用电磁铁9产生的， 当电磁铁作用时，在Z向产生的上升或下降会通过顶杆12推动被悬挂的Z向的活动导轨板， 从而推动测头在方向“预偏置” 8 10 19 ☑22 23 11 -24 -25 26 -15 28 3 31 -18 (d) a 图9.7加力式三向电感测头 (a)总体结构()镇紧机构(c)位移传感器(@)阻尼机构 1一Y向片簧2一平衡弹簧3一Z向片簧4一波纹管5一杠杆6一电磁铁7一中间传力村 8一十字片簧9一电磁铁10一平衡力调节微电机11一平衡力调节螺杆12一顶杆 13一平衡力调节螺母套14一平衡弹簧15一平衡弹簧16一X向片簧17一转接座18一测杆 19一拔销20一电机21一弹簧22一杠杆23一锁紧钢球24一定位块25一线图支架 26一线圈27一磁芯28-上阻尼支架29一阻尼片30一阻尼片31一下阻尼支架 9.9 9- 9 即可。②位移传感器：用以测量位移量的大小，如图 9-7c 所示，在两层导轨上，一面固定 磁芯 27，另一面固定线圈 26 和线圈支架 25。③阻尼机构：用以减小高分辨率测量时外界振 动的影响。如图 9-7d 所示，在作相对运动的上阻尼支架 28 和下阻尼支架 31 上各固定阻尼 片 29 和 30，在两阻尼片间形成毛细间隙，中间放入粘性硅油，使两层导轨在运动时，产生 阻尼力，避免由于片簧机构过于灵敏而产生振荡。 该测头加力机构工作原理如图 9-7a 所示，其中 X 向加力机构和 Y 向加力机构相同（图 中只表示出了 X 向）。X 向加力机构是利用电磁铁 6 推动杠杆 5，使其绕十字片簧 8 的回转中 心转动而推动中间传力杆 7 围绕波纹管 4 组成的多向回转中心旋转，由于中间传力杆与转接 座 17 用片簧相连，因而推动测头在 X 方向“预偏置”。Z 向加力机构是利用电磁铁 9 产生的， 当电磁铁作用时，在 Z 向产生的上升或下降会通过顶杆 12 推动被悬挂的 Z 向的活动导轨板， 从而推动测头在 Z 方向“预偏置”。 图 9-7 加力式三向电感测头 (a)总体结构 (b)锁紧机构 (c)位移传感器 (d)阻尼机构 1—Y 向片簧 2—平衡弹簧 3—Z 向片簧 4—波纹管 5—杠杆 6—电磁铁 7—中间传力杆 8—十字片簧 9—电磁铁 10—平衡力调节微电机 11—平衡力调节螺杆 12—顶杆 13—平衡力调节螺母套 14—平衡弹簧 15—平衡弹簧 16—X 向片簧 17—转接座 18—测杆 19—拔销 20—电机 21—弹簧 22—杠杆 23—锁紧钢球 24—定位块 25—线圈支架 26—线圈 27—磁芯 28—上阻尼支架 29—阻尼片 30—阻尼片 31—下阻尼支架 1 2 3 14 4 5 7 8 9 13 15 16 17 18 6 10 11 12 30 31 29 28 22 25 26 27 23 20 21 19 24 (d) (c) (b) (a) Z X