测头不能以接触状态停留在工件表面，因而只能对工件表面作离散的逐点测量，不能作连续 的扫描测量。目前，绝大多数生产厂选用英国RENISHAW公司生产的触发式测头。 8品品 图9-6电气式动态测头 1一弹簧2一芯体3一测杆4一钢球5一触点 (2)静态测头 静态测头除具备触发式测头的触发采样功能外，还相当于一台超小型三坐标测量机。测 头中有三维几何量传感器，在测头与工件表面接触时，在X、Y、Z三个方向均有相应的位移 量输出，从而驱动同服系统进行自动调整，使测头停在规定的位移量上，在测头接近静止的 状态下采集三维坐标数据，故称为静态测头。静态测头沿工件表面移动时，可始终保持接触 状态，进行扫描测量，因而也称为扫描测头。其主要特点是精度高，可以作连续扫描，但制 造技术难度大，采样速度慢，价格昂贵，适合于高精度测量机使用。目前由LEIT亿、ZISS 和KERRY等厂家生产的静态测头均采用电感式位移传感器，此时也将静态测头称为三向电感 测头。图9-7为ZEISS公司生产的双片簧层叠式三维电感测头的结构。 测头采用三层片簧导轨形式，三个方向共有三层，每层由两个片簧悬吊。转接座17借 助两个X向片簧16构成的平行四边形机构可作X向运动。该平行四边形机构固定在由Y向 片簧1构成的平行四边形机构的下方，借助片簧1，转接座可作Y向运动。Y向平行四边形 机构固定在由Z向片簧3构成的平行四边形机构的下方，依靠它的片簧，转接座可作乙向运 动。为了增强片簧的刚度和稳定性，片簧中间为金属夹板。为保证测量灵敏、精确，片簧不 能太厚，一般取0.1m。由于Z向导轨是水平安装，故用三组弹簧2、14、15加以平衡。可 调弹簧14的上方有一螺纹调节机构，通过平衡力调节微电机10转动平衡力调节螺杆1山， 使平衡力调节螺母套13产生升降米自动调整平衡力的大小。为了减小Z向弹簧片受剪切力 而产生变位，设置了弹簧2和15，分别用于平衡测头Y向和X向部件的自重。 在每一层导轨中各设置有三个部件：①锁紧机构：如图9b所示，在其定位块24上有 一凹槽，与锁紧杠杆22上的锁紧钢球23精确配合，以确定导轨的“零位”。在需打开时， 可让电机20反转一角度，则此时该向导轨处于自由状态。需锁紧时，再使电机正转一角度 9.89- 8 测头不能以接触状态停留在工件表面，因而只能对工件表面作离散的逐点测量，不能作连续 的扫描测量。目前，绝大多数生产厂选用英国 RENISHAW 公司生产的触发式测头。 图 9-6 电气式动态测头 1—弹簧 2—芯体 3—测杆 4—钢球 5—触点 （2）静态测头 静态测头除具备触发式测头的触发采样功能外，还相当于一台超小型三坐标测量机。测 头中有三维几何量传感器，在测头与工件表面接触时，在 X、Y、Z 三个方向均有相应的位移 量输出，从而驱动伺服系统进行自动调整，使测头停在规定的位移量上，在测头接近静止的 状态下采集三维坐标数据，故称为静态测头。静态测头沿工件表面移动时，可始终保持接触 状态，进行扫描测量，因而也称为扫描测头。其主要特点是精度高，可以作连续扫描，但制 造技术难度大，采样速度慢，价格昂贵，适合于高精度测量机使用。目前由 LEITZ、ZEISS 和 KERRY 等厂家生产的静态测头均采用电感式位移传感器，此时也将静态测头称为三向电感 测头。图 9-7 为 ZEISS 公司生产的双片簧层叠式三维电感测头的结构。 测头采用三层片簧导轨形式，三个方向共有三层，每层由两个片簧悬吊。转接座 17 借 助两个 X 向片簧 16 构成的平行四边形机构可作 X 向运动。该平行四边形机构固定在由 Y 向 片簧 1 构成的平行四边形机构的下方，借助片簧 1，转接座可作 Y 向运动。Y 向平行四边形 机构固定在由 Z 向片簧 3 构成的平行四边形机构的下方，依靠它的片簧，转接座可作 Z 向运 动。为了增强片簧的刚度和稳定性，片簧中间为金属夹板。为保证测量灵敏、精确，片簧不 能太厚，一般取 0.1mm。由于 Z 向导轨是水平安装，故用三组弹簧 2、14、15 加以平衡。可 调弹簧 14 的上方有一螺纹调节机构，通过平衡力调节微电机 10 转动平衡力调节螺杆 11， 使平衡力调节螺母套 13 产生升降来自动调整平衡力的大小。为了减小 Z 向弹簧片受剪切力 而产生变位，设置了弹簧 2 和 15，分别用于平衡测头 Y 向和 X 向部件的自重。 在每一层导轨中各设置有三个部件：①锁紧机构：如图 9-7b 所示，在其定位块 24 上有 一凹槽，与锁紧杠杆 22 上的锁紧钢球 23 精确配合，以确定导轨的“零位”。在需打开时， 可让电机 20 反转一角度，则此时该向导轨处于自由状态。需锁紧时，再使电机正转一角度 1 2 5 3 4