36 北京科技大学学报 2001年第1期 后的a相以4H形式存在.从图1衍射图谱中除 液中进行化学腐蚀，用SCAN360扫描电镜观察 发现主晶相SiC外，还存在次晶相YAG,表明助 其徽观结构和相变后的晶粒生长情况. 烧剂A1O,YO在高温时形成低共溶液相 图2是a-SiC粉末和陶瓷及B-SiC粉末和烧 YAG. 结后陶瓷的徽观形貌.样品SC1的晶粒呈等轴 23微观结构 状，如图2(c)所示.烧结体中晶粒大小不均匀与 将抛光后的样品置于沸腾的Murakami溶 其原始粉末中粒度分布有关，如图2（⑧）所示.结 (a)a-SiC粉末 b)BSiC粉末 ●3C-SiC ●6H$iC (C)cSiC陶瓷 ●6H-SiC (@B-SiC陶瓷 ●3C-SiC ▲YAG O4H-SiC 、 ▲YAG 30 40 0 281e) 图1aSC粉未和陶瓷及B-S5C物未和陶瓷的X射线衍射图谱 Fig.1 KRD patterms of a-SiC ceramies and powder (and (b),B-SiC ceramics and powder (e)and (d) 图2a-SiC粉未和陶瓷及B-91C粉末和陶瓷的微观形驶(aa-S1C粉末，bB-S5C粉末，(c)a-8IC陶瓷，（仙B-SC陶瓷 Fig.2 Morphology of a-SiC powders and ceramics,B-SiC powders and ceramic