·192· 北京科技大学学报 Vol22 No.2 参考文献 3张兰玲，刘贺平，孙一康基于多层局部回归网络的复 杂生产过程预测模型模式识别与人工智能，1998,11 1 Li J.Xu X,Xi Y.A Neural Networks Based Predictive Con- (1):75 trol.In:Int Conf Industrial Electronics Control and Instru- 4 Stephanopoulos G.Chemical Process Control-an In- mentation.1991.1405 2 Yoon T W,Clarke D W.Adaptive Predictive Control of the troduction to Theory and Practice-hall.New Jersey:Eng- lewood Cliffs,1984 Benchmark Plant.Automatica,1994,30(4):621 Multistep Predictive Modeling of Nonlinear System Based on Multilayer Local Recurrent Neural Networks LIU Heping, ZHANG Lanling, SUN Yikang Information Engineering School,UST Beijing.Beijing 100083.China ABSTRACT The multistep predictive modeling of MIMO nonlinear system based on multilayer local recur- rent neural networks is presented.The predictive outputs and Jocobian matrixs of output vecter versus input vecter are proffered by the neural networks predictive model for the multistep predictive control systems.The results of simulation show that predictive model of the dynamic neural networks can reach higher degree of accuracy. KEY WORDS multivariable nonlinear system;multilayer local recurrent neural networks;multistep pre- dictive modeling;Jocobian matrixs 米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米米 (上接第162页) 9 Marton D,Boyd K J,Al-Bayati,et al.Carbon Nitride De- 7顾有松，张永平，常香荣，等，CN硬膜的人工合成和 posited Using Energetic Species:A Two-phase System 鉴定.中国科学(A辑)，1999,8：757 Physical Review Letters,1994,73(1):118 8 Gu YS,Zhang Y P,Duan Z J,et al.Crystalline B-CN.Syn- 10 Yen T Y,Chou C P.Growth and Characterization of Car- thesized by MPCVD.Journal of Materials Science,1999, bon Nitride Films Prepared by Arc-plasma Jet Chemical 34:3117 Vapor deposition.Applied Physics Letter,1995,67:2801 Effect of Substrate Temperature on the Composition and Structure of Carbon Nitride Thin Films ZHANG Yongping",GU Yousong",CHANG Xiangrong",TIAN Zhongzhuo,SHI Dongxia,ZHANG Xiufang 1)Material Science and Engineering School,UST Beijing.Beijing 100083,China 2)Beijing Laboratory of Vacuum Physics,Institute of Physics,Chinese Academy of Sciences,Beijing00080 ABSTRACT The carbon nitride thin films have been prepared on Si substrates,using N/CH,as reactive gases, by microwave chemical vapor deposition method.The effect of substrate temperature on the composition and structure of carbon nitride thin films were studied by X-ray photoelectron spectroscopy (XPS).As the substrate temperature increased,the N/C atomic ratios increased rapidly first and then decreased a little after a crucial temperature.Fourier transform infrared(FT-IR)and Raman spectra support the existence of C-N covalent bond. KEY WORDS B-C,N,;microwave plasma chemical vapor deposition(MPCVD);thin films北 京 科 技 大 学 学 报 叭〕 参 考 文 献 ， ， ， ， ， ， 张兰玲 ， 刘 贺平 ， 孙 一康 基 于 多层 局 部 回归 网络 的复 杂 生 产 过程 预 测 模型 模式 识别 与人 工 智能 ， ， 一 － ， 孙明 ， 朔刃 ， 乙 万 ， ， ， 勿 勿 韶 · 盯 上接第 页 顾 有 松 ， 张 永平 ， 常香荣 ， 等 汹 硬 膜 的人 工 合 成 和 鉴 定 中 国科 学 辑 ， ， ， ， ， 刀 一 ， ， ， ， 一 ， 、 产 一 ， ， ， 一 ， ， 及 乙从咬入 ， 为 ，，〔汤叼刀 聊勺 ，， 丈咬 矛褪拜 ， 汉月了 口尸， 戈 毛刀了通刃 心 ， ， ， ， 台 ， ， ， ， 礴 ， 一 ， 已 一 一 刀 一