2.器件结构及气敏测试系统 986 2.1器件结构设计 ,平面叉指电极结构（金电极+基底） ,线宽（布线）、间距、对数、厚度 MEMS工艺 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组 制作电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 2.1 器件结构设计 ➢ 平面叉指电极结构（金电极+基底） ➢ 线宽（布线）、间距、对数、厚度 ➢ MEMS工艺 2.器件结构及气敏测试系统