986 7.3.1聚苯胺复合薄膜电阻型气体传感器的制备 及特性研究 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 7.3.1 聚苯胺复合薄膜电阻型气体传感器的制备 及特性研究
好 986 主要内容 1.研究背景及研究内容 2.器件结构及气敏测试系统 3.PANI及PANI/TiO2敏感薄膜的制备、表征及气敏特性研究 4.PANl/SnO2和PANI/SnO2-TTAB薄膜的气敏特性研究 5.结论 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 主要内容 1. 研究背景及研究内容 2. 器件结构及气敏测试系统 3. PANI及PANI/TiO2敏感薄膜的制备、表征及气敏特性研究 4. PANI/SnO2和PANI/SnO2-TTAB薄膜的气敏特性研究 5. 结论
1.研究背景及研究内容 986 1.1课题来源及意义 口来源 >国家杰出青年科学基金一传感技术及其系统(60425101)项目。 口意义 环境监测 ,保障生命安全及健康 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 1.1 课题来源及意义 来源 ➢ 国家杰出青年科学基金――传感技术及其系统(60425101)项目。 意义 ➢ 环境监测 ➢ 保障生命安全及健康 1.研究背景及研究内容
1.研究背景及研究内容 986 1.2课题研究内容 理论研究 查阅文献 材料选择 器件设计 结果分析 气敏特性测试 薄膜表征 器件制备 PANI/SnO2PANI/TiO2 PANIPANI/TiO2 2气敏特性 C0气敏特性 60M分析 紫外可见光谱 红外光谱 表面活性剂 不同聚合温度 子酸掺杂剂 实验内容 电子科技大学敏席材料与传廊器 课程组 制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 1.2 课题研究内容 1.研究背景及研究内容
2.器件结构及气敏测试系统 986 2.1器件结构设计 ,平面叉指电极结构（金电极+基底） ,线宽（布线）、间距、对数、厚度 MEMS工艺 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组 制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 2.1 器件结构设计 ➢ 平面叉指电极结构（金电极+基底） ➢ 线宽（布线）、间距、对数、厚度 ➢ MEMS工艺 2.器件结构及气敏测试系统
2.器件结构及气敏测试系统 986 2.2气海敏测试系统的组建 一氧化碳/氨气 章。彩 数据采集处理软件 空气 排气口 数据采集卡 keithley2700 传感元件 口口口口口 oOOOO 测试容器 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 2.2 气敏测试系统的组建 ···· 2.器件结构及气敏测试系统
2.器件结构及气敏测试系统 好 986 2.3气体传感器的主要特性参数 (1)器件电阻R和R S=Rs-Ro R (2)相对灵敏度$ (3)响应时间及恢复时间2 (4)重复性及稳定性 (5)选择性 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 2.3 气体传感器的主要特性参数 (1)器件电阻R0和RS (2)相对灵敏度S (3)响应时间T1及恢复时间T2 (4)重复性及稳定性 (5)选择性 S 0 0 R R S R − = 2.器件结构及气敏测试系统
3.PANI及PANI/TiO2敏感薄膜的制备、表征及气敏特性研究 3.1PANI和PAN/TiO,敏感薄膜的制备 (1)基片预处理 平面叉指电极 1%的PDDA水溶液 PSS溶液 (2)薄膜制备 苯胺单体 Ti02溶胶 HCI溶液 混合 PANI/TiO2水溶液 过滤 PANI/TiO2滤液 将处理好的基片浸入 PANI/Ti02敏感薄膜 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组 制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 (1)基片预处理 3.1 PANI和PANI/TiO2敏感薄膜的制备 平面叉指电极 1%的PDDA水溶液 PSS溶液 PANI/TiO2敏感薄膜 苯胺单体 TiO2溶胶 HCl溶液 PANI/TiO2水溶液 过 滤 PANI/TiO2滤液 将处理好的基片浸入 混 合 3.PANI及PANI/TiO2敏感薄膜的制备、表征及气敏特性研究 (2)薄膜制备
3.PANI及PANI/TiO2敏感薄膜的制备、表征及气敏特性研究 986 3.2PANI和PANI/TiO2敏感薄膜的表征 >SEM 荷电 20KV ×30.000 1um 20KV ×30.000 1um (a)PANI/TiO复合薄膜 b)PANI薄膜 纳米纤维状 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组 制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 3.2 PANI和PANI/TiO2敏感薄膜的表征 ➢SEM 荷电 3.PANI及PANI/TiO2敏感薄膜的制备、表征及气敏特性研究 纳米纤维状
3.PANI及PANI/TiO2敏感薄膜的制备、表征及气敏特性研究 /986 3.2PANI和PANI/TiO2敏感薄膜的表征 紫外一可见光谱 1.0 1)PANI/TiO2 2)PANI n-π*跃迁 n-o*跃迁 π-π*跃迁 波长(nm) 0.6 架 掺杂薄膜苯胺十股有 入2 入3 0.4 2 PAN平个特征峰62 402 859 0.2 PANI/TiO2 363 425 875 300400 500600700800 90010001100 波长λ(nm) 与纯PANI相比，PANI/TiO,纳米复合材料的紫外-可见光谱略向高波长移动 电子科技大学敏感材料与传廊器课程组 制作
电子科技大学 敏感材料与传感器 课程组 制作 掺杂态聚苯胺一般有 三个特征峰 n-σ*跃迁 π - π *跃迁 n - π *跃迁 薄膜 波长λ(nm) λ1 λ2 λ3 PANI 362 402 859 PANI/TiO2 363 425 875 与纯PANI相比，PANI/TiO2纳米复合材料的紫外-可见光谱略向高波长移动 3.2 PANI和PANI/TiO2敏感薄膜的表征 ➢ 紫外—可见光谱 3.PANI及PANI/TiO2敏感薄膜的制备、表征及气敏特性研究