第一章正交试验基本方法 >（2)简单比较法 >变化一个因素而固定其它因素，如首先固定B、C于B1、 C1,使A变化之，则： Al A2 A3(好结果) cmese.uestc >如果得出结果A3最好，则固定A于A3,C还是C1,使B变 化，则： BI A3C1≤ B2(好结果) B3 >得结果B2最好，则固定B于B2,A于A2,使C变化，则： CI A3B2< C2(好结果) C3 >试验结果以C3最好。于是得出最佳工艺条件为A3B2C2。 Schodl of Microelectronics and Solid-State ElectronicsSchool of Microelectronics and Solid-State Electronics 第一章 正交试验基本方法 ➢（2）简单比较法 ➢变化一个因素而固定其它因素，如首先固定B、C于B1、 C1，使A变化之，则： ➢如果得出结果A3最好，则固定A于A3，C还是C1，使B变 化，则： ➢得结果B2最好，则固定B于B2，A于A2，使C变化，则： ➢试验结果以C3最好。于是得出最佳工艺条件为A3B2C2。 A1 B1C1 A2 A3(好结果) B1 A3C1 B2(好结果) B3 C1 A3B2 C2 (好结果) C3