Si 的体加工技术 (Bulk micromaching) Si的体加工技

点击下载：北京科技大学材料科学学院：《薄膜材料与纳米技术 Thin Film Materials & Nanotechnology》第九讲微机电技术和纳米机电技术 MicroEelectroMechanical & NanoEelectroMechanical systems（MEMs & NEMs）

正在加载图片...

tsto sakon nitr ike nr oside Si的体加工技术 (Bulk micromaching) RIE puttering wet chemieal etching S的体加工技术是指在Si片厚度(~500um)的尺度范围内对Si进行加工的技术 Ill>Si 的体加工技术 (Bulk micromaching) Si的体加工技术是指在Si片厚度(500m)的尺度范围内对Si进行加工的技术

<<向上翻页向下翻页>>