S的各向异性与各向异性化学腐蚀 HNA刻蚀 sM, reas KOH刻蚀 对于Si材料的刻蚀可以是各向同性的,也可以是各向异性的 KOH溶液对S(100、(110、(11)1的刻蚀速率比为40:30:1Si的各向异性与各向异性化学腐蚀 ◆ 对于Si材料的刻蚀可以是各向同性的，也可以是各向异性的 ◆ KOH溶液对Si(100),(110),(111)面的刻蚀速率比为40:30:1 HNA刻蚀 Si KOH刻蚀 Si