机械制造 工程训练 光进加工工艺和工艺装备 1.3微米/纳米技术 微米技术是指在微米级(0.1~100μm)的材料、设计、 制造、测量、控制和应用技术。 从微米纳米技术研究的技术途径亦可分为两类：一种是 分子、原子组装技术的办法，即把具有特定理化性质的 功能分子、原子、借助分子、原子内的作用力，精细地 组成纳米尺度的分子线、膜和其他结构，再由纳米结构 与功能单元进而集成为微米系统，这种方法称为由小到 大的方法；另一种是用刻蚀等微细加工方法，将大的材 料割小，或将现有的系统采用大规模集成电路中应用的 制造技术，实现系统微型化，这种方法亦称为由大到小 的方法。从目前的技术基础分析，由大到小的方法可能 是我们主要应用的方法。 返回目录机械制造 工程训练 1.3 微米/纳米技术 微米技术是指在微米级（0.1～100μm）的材料、设计、 制造、测量、控制和应用技术。 从微米/纳米技术研究的技术途径亦可分为两类：一种是 分子、原子组装技术的办法，即把具有特定理化性质的 功能分子、原子、借助分子、原子内的作用力，精细地 组成纳米尺度的分子线、膜和其他结构，再由纳米结构 与功能单元进而集成为微米系统，这种方法称为由小到 大的方法；另一种是用刻蚀等微细加工方法，将大的材 料割小，或将现有的系统采用大规模集成电路中应用的 制造技术，实现系统微型化，这种方法亦称为由大到小 的方法。从目前的技术基础分析，由大到小的方法可能 是我们主要应用的方法。 先进加工工艺和工艺装备 返回目录