世纪中科 第3页（供8页） 它们是一组同心圆环，如图3（®）所示。 图3)切向圆光栅 图3B)切向光莫尔条纹 2、光传感器 光栅传感器主要由光源系统、光栅副系统、光电转换及处理系统等组成，如图4。光源系 统使光源以平面波或球面波的形式照射到光栅副系统，光电转换及处理系统用于检测莫尔条纹 的变化并经适当处理后转换为位移或角度的变换，其中光橱副系统主要用于产生各种类型的莫 尔条纹，是关健部分。 图4光传感器系统组成示意图世纪中科 第 3 页(共 8 页) 它们是一组同心圆环，如图 3(B)所示。 2、光栅传感器 光栅传感器主要由光源系统、光栅副系统、光电转换及处理系统等组成，如图 4。光源系 统使光源以平面波或球面波的形式照射到光栅副系统，光电转换及处理系统用于检测莫尔条纹 的变化并经适当处理后转换为位移或角度的变换，其中光栅副系统主要用于产生各种类型的莫 尔条纹，是关键部分。 图 3(A)切向圆光栅 图 3(B) 切向光栅莫尔条纹 图 4 光栅传感器系统组成示意图